FlexAligner-R500

数字化光刻

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FlexAligner-R500

技术特点

  • 压印模式:辊对辊压印 ,UV压印固化( 365nm紫表光LED )
  • 运行模式:柔性卷材陆续运行 ,单面/双面套准/多层套准, 快率1~30米/分钟
  • 对位精度:双面套准精度 20~100um
  • 压印结构:50nm-50um
  • 压印面积:宽幅500mm(FlexAligner-R500);宽幅1400mm(FlexAligner-R1400)
  • 子模类型:金属模具
  • 上胶模式:点胶模式/网纹上胶

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